实验室与平台感知
微米纳米加工技术全国重点实验室（上海交通大学部分）
该实验室（交大部分）面向国际微纳科技前沿和国家重大战略需求，开展基于集成电路工艺的微纳加工技术基础及应用基础研究。实验室于1996年批准建设，我国第一个NMOS器件主要完成人沈天慧院士为学术带头人。实验室形成了完整的非硅三维微纳加工技术体系，支撑了国内第一条非硅MEMS中试生产线建设；以第一完成单位获国家发明二等奖2项，是我国微纳加工与MEMS器件的重要基地之一。（来源：https://icisee.sjtu.edu.cn/kyjd-gjjjd/1527.html）
更新于 2026-09-13
- 英文名称
- National Key Laboratory of Advanced Micro and Nano Manufacture Technology
- 平台类型
- 全国重点实验室
- 所属学院
- 集成电路学院
- 负责人
- 刘景全
- 主要研究方向
①基于集成电路工艺的跨尺度、泛材料微纳加工，包括高深宽比LIGA/准LIGA技术，以及多域多维微系统的加工与集成；②金属基、陶瓷基、聚合物基非硅MEMS与异质异构集成，已研制电磁微马达、柔性电子器件、微流控芯片等；③MEMS脑机接口器件与微系统（刘景全团队）；④极端环境与海洋MEMS智能传感器，可穿戴/可植入柔性电子器件。
- 产业链环节
- 感知
- 产业合作与转化
官方介绍称：实验室支撑了国内第一条非硅MEMS中试生产线建设，所研制的关键元器件已在国家重大工程等场景获得应用。刘景全团队的柔性MEMS心脏消融器件是与上海交大附属胸科医院医工交叉合作完成的，团队称正在推动临床转化。未检索到具名的企业联合实验室、技术许可或衍生企业信息。
- 联系人与方式
- 仅分院工作人员可见