实验室与平台

该实验室（交大部分）面向国际微纳科技前沿和国家重大战略需求，开展基于集成电路工艺的微纳加工技术基础及应用基础研究。实验室于1996年批准建设，我国第一个NMOS器件主要完成人沈天慧院士为学术带头人。实验室形成了完整的非硅三维微纳加工技术体系，支撑了国内第一条非硅MEMS中试生产线建设；以第一完成单位获国家发明二等奖2项，是我国微纳加工与MEMS器件的重要基地之一。（来源：https://icise…