微米纳米加工技术全国重点实验室（上海交通大学部分）
该实验室（交大部分）面向国际微纳科技前沿和国家重大战略需求，开展基于集成电路工艺的微纳加工技术基础及应用基础研究。实验室于1996年批准建设，我国第一个NMOS器件主要完成人沈天慧院士为学术带头人。实验室形成了完整的非硅三维微纳加工技术体系，支撑了国内第一条非硅MEMS中试生产线建设；以第一完成单位获国家发明二等奖2项，是我国微纳加工与MEMS器件的重要基地之一。（来源：https://icise…
感知全国重点实验室集成电路学院刘景全
机械系统与振动全国重点实验室
实验室前身是1988年立项筹建的振动、冲击、噪声国家重点实验室，2006年更名为机械系统与振动国家重点实验室，2022年12月重组获批为全国重点实验室。徐敏教授是主要创建人，现任主任为朱向阳教授；重组后第一届学术委员会主任为朱荻教授，咨询专家委员会主任为林忠钦教授。实验室主持过5项国家“973”计划项目，近20年以第一完成单位获国家科技成果奖12项。（来源：https://msv.sjtu.edu…
本体结构关节模组灵巧手全国重点实验室机械与动力工程学院朱向阳